CERAMIC ARC SPRAY 6-8-12″ ELECTROSTATIC CHUCK

esc | semiconduttori
descrizione

Temnest ESC sono costruzioni monopezzo che eliminano gli strati di colla che causano guasti precoci e una costante dielettrica imprevedibile. Sono progettati per adattarsi agli standard OEM, AMAT, LAM, SPTS e TEL. Gli ESC ceramici sono coulombici con uno strato di Al2O3 molto denso con elevata resistività elettrica. Ciò evita problemi di disconnessione e adesione dovuti ai cambiamenti nelle condizioni della superficie, come si vede in alcuni progetti Johnson-Rahbeck. Il design di raffreddamento migliorato offre una migliore omogeneità della temperatura e un migliore controllo del bordo del wafer, che è rilevante per le prestazioni del processo. Per i mandrini LAM anodizzati, un rivestimento MA brevettato ad alta densità migliora notevolmente la durata.

applicazioni

-Nuovi prodotti ESC di alta qualità per sale AMAT, LAM e TEL
-Adattabile a catodi OEM standard, utilizzando ricette esistenti o BKM
-I materiali più recenti e il design migliorato possono essere riciclati e riutilizzati.
-Le eccellenti prestazioni del processo e la durata utile riducono i costi e gli sprechi
-Forniamo prodotti ESC da 100 mm, 150 mm, 200 mm e 300 m.

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